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研究生导师刘晓为：哈尔滨工业大学

2016-05-07 11:01:57来源：网络
姓　　名 刘晓为 性　　别 男 出生年月
所在院校 哈尔滨工业大学 所在院系 微电子学与固体电子学
职称 教授 招生专业 微电子学与固体电子学
研究领域 MEMS、传感器与执行器及集成电路
联系方式 E-mail lxw@hit.edu.cn 电 话 0451*******邮 编 0
地 址
个人简介
　　1978-1982年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件专业获学士学位
　　1984-1988年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件与微电子学专业获硕士学位
　　1988-1992年：哈尔滨工业大学航天学院讲师
　　1992-1999年：哈尔滨工业大学航天学院副教授
　　1999-2003年：哈尔滨工业大学航天学院教授
　　2003- 目前：哈尔滨工业大学航天学院博士生导师
　　总装微纳米技术专家组 成员；
　　总装军用电子元器件型谱系列专家组成员；
　　电子学会 敏感技术分会 力敏专业委员会 副主任；
　　东北微机电系统（MEMS）技术联合体 副秘书长；
　　《传感器技术》 编委；
　　黑龙江省政协委员。　　1978-1982年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件专业获学士学位
　　1984-1988年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件与微电子学专业获硕士学位
　　1988-1992年：哈尔滨工业大学航天学院讲师
　　1992-1999年：哈尔滨工业大学航天学院副教授
　　1999-2003年：哈尔滨工业大学航天学院教授
　　2003- 目前：哈尔滨工业大学航天学院博士生导师
　　总装微纳米技术专家组 成员；
　　总装军用电子元器件型谱系列专家组成员；
　　电子学会 敏感技术分会 力敏专业委员会 副主任；
　　东北微机电系统（MEMS）技术联合体 副秘书长；
　　《传感器技术》 编委；
　　黑龙江省政协委员。
著作及论文
　　[1]刘晓为等, 硼掺杂多晶硅薄膜电阻率的温度特性, 半导体学报, 1994,15(6):429-434
　　[2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149
　　[3]刘晓为等, 电容式加速度传感器的计算机模拟, 压电与声光, 2001.10:170~172
　　[4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
　　[5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
　　[6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
　　[7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMI’99. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08.
　　[8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.
　　[9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.
　　[10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05.　　[1]刘晓为等, 硼掺杂多晶硅薄膜电阻率的温度特性, 半导体学报, 1994,15(6):429-434
　　[2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149
　　[3]刘晓为等, 电容式加速度传感器的计算机模拟, 压电与声光, 2001.10:170~172
　　[4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
　　[5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
　　[6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
　　[7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMI’99. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08.
　　[8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.
　　[9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.
　　[10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05.

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