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中国科学院大学研究生导师:硕士生导师陈进新

2021-05-05 07:31:00来源:中国科学院大学

  作为考研人需要提前了解导师信息,做好选择导师的准备。新东方在线考研频道为大家整理了“中国科学院大学研究生导师:硕士生导师陈进新 ”,帮助考研人了解研究生导师硕士生导师信息。

  中国科学院大学研究生导师:硕士生导师陈进新

  陈进新 男 硕士生导师 中国科学院微电子研究所

  招生信息

  招生专业

  080300-光学工程

  080201-机械制造及其自动化

  招生方向

  先进光刻

  精密系统机械设计、极紫外光刻真空

  集成电路光刻技术

  教育背景

  2010-09--2015-07 中国科学院大学 博士

  2005-09--2008-07 中国科学院研究生院 硕士

  2000-09--2004-07 北京航空航天大学 本科

  工作经历

  工作简历

  2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师

  2017-06~2018-07,美国SLAC国家加速器实验室, 访问学者

  2015-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师

  2010-10~2015-11,中国科学院光电研究院, 工程师

  2010-09~2015-07,中国科学院大学, 博士

  2008-07~2010-09,中国科学院光电研究院, 助理工程师

  2005-09~2008-07,中国科学院研究生院, 硕士

  2000-09~2004-07,北京航空航天大学, 本科

  专利与奖励

  专利成果

  ( 1 ) 一种用于极紫外光刻机的动态气体锁, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201610391179

  ( 2 ) 一种极紫外辐照材料测试系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310319441

  ( 3 ) 一种动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310320652

  ( 4 ) 一种螺旋气流动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310343253

  ( 5 ) 一种气体激光器放电腔的电极机构, 2013, 第 1 作者, 专利号: 201210266544

  ( 6 ) 一种新型气体放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210337140

  ( 7 ) 一种气体放电激光光源, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210333164

  ( 8 ) 一种动态气体锁的试验装置和试验方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201610390695

  ( 9 ) 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201510076613

  ( 10 ) 一种极紫外反射镜片的装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510075790

  ( 11 ) 一种极紫外反射镜片的四维装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410545200

  出版信息

  发表论文

  (1) 4-DOF mechanism design for reflectors in vacuum, MME, 2017, 第 1 作者

  (2) 极紫外光刻动态气体锁抑制率实验研究, 光学学报, 2017, 第 1 作者

  (3) 极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究, 激光与光电子学进展, 2017, 第 1 作者

  (4) 极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究, 激光与光电子学进展, 2016, 第 1 作者

  (5) 极紫外真空动态气体锁流场分析与研究, 真空科学与技术学报, 2015, 第 1 作者

  科研活动

  科研项目

  ( 1 ) EUV光刻机离轴对焦技术研究与部件开发, 主持, 国家级, 2018-01--2021-12

  以上就是为考研人分享的:“中国科学院大学研究生导师:硕士生导师陈进新 ”希望能为大家带来帮助,预祝大家考研成功。更多考研硕士生导师信息可以关注新东方在线考研频道。


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