中国科学院大学研究生导师：硕士生导师戴凤钊

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　　中国科学院大学研究生导师：硕士生导师戴凤钊

　　戴凤钊 男 硕士生导师 中国科学院上海光学精密机械研究所

　　研究领域

　　光学精密检测

　　集成电路装备

　　高端光刻机像质检测

　　招生信息

　　招生专业

　　080300-光学工程

　　招生方向

　　高端光刻机像质检测技术

　　光学精密测量技术

　　波前传感技术

　　教育背景

　　2008-09--2013-05 中国科学院上海光学精密机械研究所 博士

　　2004-09--2008-06 西安电子科技大学 学士

　　学历

　　研究生

　　学位

　　博士

　　工作经历

　　工作简历

　　2015-08~2017-06,中国科学院上海光学精密机械研究所, 副研究员

　　2013-07~2015-08,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员

　　专利与奖励

　　专利成果

　　( 1 ) Multi field points wavefront aberration parallel measurement setup and method for lithography projection optics, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: US No.14984577

　　( 2 ) Digital phase shfting lateral shearing interferometer and wavefront aberration metrology method for optial system, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: PCT/ CN 2015/080419

　　( 3 ) Digital phase shifting point diffraction interferometer and wavefront aberration metrology method for optical system, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: PCT/CN 2015/080420

　　( 4 ) 数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510216017.5

　　( 5 ) 数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510256096.2

　　( 6 ) 一种高精度、高空间分辨率的横向剪切干涉波前测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510435697.X

　　( 7 ) 光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510757427.0

　　( 8 ) 施瓦茨光学系统波像差测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201410455642.0

　　( 9 ) 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3

　　( 10 ) 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3

　　( 11 ) 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210337416.3

　　( 12 ) 一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形测量方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201210356681.6

　　( 13 ) 一种基于粒子群优化算法的晶圆曝光路径优化方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201710229617.4

　　( 14 ) 一种大尺寸二维平面光栅栅距检测方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610675861.9

　　( 15 ) 区域法重建遮拦波前的改进重建方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510191587.3

　　( 16 ) 区域法重建遮拦波前的改进重建方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510191587.3

　　( 17 ) 波前传感器及波前测量方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510398987.1

　　( 18 ) 光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: ZL201410406641

　　( 19 ) 光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法, 发明, 2013, 第 5 作者, 专利号: ZL201310646820.3

　　( 20 ) 平面光学元件面形检测方法, 发明, 2012, 第 4 作者, 专利号: ZL201210289617.0

　　出版信息

　　发表论文

　　(1) Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image, Optics Express, 2017, 第 9 作者

　　(2) Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry, Applied Optics, 2017, 第 1 作者

　　(3) Method for improving measurement efficiency of lateral shearing interferometry, Optical Engineering, 2017, 第 4 作者

　　(4) Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry, Optics Communications, 2016, 第 1 作者

　　(5) Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method, Applied Optics, 2016, 第 1 作者

　　(6) Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on difference polynomial fitting, Journal of Optics, 2015, 第 4 作者

　　(7) Piston error calibration of zonal reconstruction for a segmented wavefront in lateral shearing interferometry, Applied Optics, 2015, 第 4 作者

　　(8) Analysis of lateral shearing interferometry without self-imaging limitations, Applied Optics, 2015, 第 4 作者

　　(9) Calibration of system errors in lateral shearing interferometer for EUV-wavefront metrology, Proc. SPIE, 2015, 第 4 作者

　　(10) Orthonormal polynomials for annular pupil including a cross-shaped obstruction, Applied Optics, 2015, 第 1 作者

　　(11) 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析, 中国激光, 2014, 第 4 作者

　　(12) A high-accuracy subaperture stitching system for nonflatness measurement of wafer stage mirror, Proc. SPIE, 2014, 第 7 作者

　　(13) 二维傅里叶变换干涉图相位提取误差分析, 中国激光, 2013, 第 4 作者

　　(14) High spatial resolution zonal wavefront reconstruction with improved initial value determination scheme for lateral shearing interferometry, Applied Optics, 2013, 第 1 作者

　　(15) Use of numerical orthogonal transformation for the Zernike analysis of lateral shearing interferograms, Optics Express, 2012, 第 1 作者

　　(16) Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry: comparisons of existing algorithms, Applied Optics, 2012, 第 1 作者

　　(17) Generalized zonal wavefront reconstruction for high spatial resolution in lateral shearing interferometry, J. Opt. Soc. Am. A, 2012, 第 1 作者

　　发表著作

　　(1) 剪切干涉术及其进展, 科学出版社, 2017-04, 第 3 作者

　　科研活动

　　科研项目

　　( 1 ) 光栅剪切干涉Zernike模式法重建精度优化方法研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12

　　( 2 ) 光栅剪切干涉区域法重建精度优化方法研究, 主持, 省级, 2014-07--2017-06

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